廣東進口日本HORIBA流量計使用手冊

日本HORIBA流量計型號SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計)E40E50

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時　關(guān)閉

標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應(yīng)速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復(fù)性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設(shè)定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)

驅(qū)動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

1/4SWL 類型

EC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個設(shè)定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時，PID數(shù)據(jù)將進行自動的調(diào)整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應(yīng)。 復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案 HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時節(jié)省了時間和成本。

1，可應(yīng)用行業(yè)：真空鍍膜 表面處理 配氣系統(tǒng)等

2，流量：（10，20，30，50，100，200，300，500）mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

3，產(chǎn)品特點：

A,高精度

B,良好的線性

C,的響應(yīng)

D,電磁閥使用壽命≥100萬次

E,對零點漂移有效的抑制

F,化的零配件供應(yīng)

G,通訊接口優(yōu)勢

H,多臺控制器可以同時運行


日本HORIBA流量計概要
質(zhì)量流量計是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?，F(xiàn)在，手?jǐn)y的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。

相對于舊有的型號，Z500X 系列實現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換?？蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計要求，為客戶提升產(chǎn)品價值。

高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。

1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。

? HOIRBA集團擁有多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應(yīng)系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩(wěn)定工作，反應(yīng)源液罐體后端控壓以罐內(nèi)壓力穩(wěn)定在范圍。這些器件的研發(fā)及使用都致力于提高制程工藝中的良品率。? ? 常見的壓力控制器UR-Z700系列??HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要：

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標(biāo)準(zhǔn)。