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日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計

型號;

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內(nèi)的高速響應（1秒內(nèi)）

簡化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器，傳感器，過濾器

穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響

搭載進氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）

輕巧的尺寸

50SLM內(nèi)相同的配件尺寸

信號兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式

數(shù)字信號控制


日本HORIBA流量計概要
質(zhì)量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場占有率超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來如一的為半導體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?，F(xiàn)在，手攜的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。

相對于舊有的型號，Z500X 系列實現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉(zhuǎn)換?？蛻艨梢愿鶕?jù)制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設計要求，為客戶提升產(chǎn)品價值。

高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。

1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
2 復合氣體、復合流量功能。

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設計要求，為客戶提升產(chǎn)品價值。高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計的誕生。日本HORIBA流量計-SEF-Z542質(zhì)量流量計特征 高精度：設定流量值±1.0%. MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數(shù)據(jù)。

適用氣體種類*1

非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

氣體接觸部材質(zhì)

SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

閥門型號

非通電時　關閉

標準流量量程 (N2相應F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范圍
(適于SEC系列)

2?100% F.S.

流量測量范圍
(適于SEF系列)

0?100% F.S.

響應速度

1秒以內(nèi)(T98)

流量精度

±1% F.S.

直線性

±0.5% F.S.

反復性

±0.2% F.S.

工作差壓值值
(適于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用壓力
(適于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐　壓

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用環(huán)境溫度

5?50℃(精度的確保：15?35℃)

流量設定信號

0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量輸出信號

0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)

驅(qū)動電源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

標準接頭*2

1/4SWL 類型

適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應用。可實現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link?, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT?），高精度（± 1.0% S.P. *1），響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質(zhì)量流量計是半導體制造設備中關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時經(jīng)銷真空和鍍膜設備的品牌包括：INFICON（美國mks流量計,美國BROOKS流量計,美國MKS真空計,德國普發(fā)真空計,日本HORIBA流量計），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測量工具, 氟離子/臭氧反應氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準系統(tǒng)，對任何品牌的MFC都可精確的清洗校準。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗收標準。