美國MKS2179A流量計商品描述

MKS-1179A  MKS-1179B MKS-1559A

美國mks流量計屬于工業(yè)自動化儀表，可用于各類氣體監(jiān)測與控制，種類繁多。質(zhì)量流量計作為儀器可以單獨銷售，但更多的時候是作為一個部件為專業(yè)設(shè)備配套，所以質(zhì)量流量計產(chǎn)品廣泛地銷售到半導(dǎo)體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、航空電力等行業(yè)的生產(chǎn)線上。

適用流體：Air N2 Ar He H2 CO2 N2
流量范圍：10sccm～20slm
控制精度：±1%F.S
最高耐壓：980KPa
接口標(biāo)準(zhǔn)：1/4“ 特點： 8300更新機(jī)種

美國MKS2179A流量計特點

1、通過采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實現(xiàn)快速回應(yīng)。
2、通用的常閉型閥門確保了安全
3、使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性
4、低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）

美國MKS2179A流量計技術(shù)指標(biāo)

F.S.量程
(N2換算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)
閥門種類 常閉電磁閥
控制范圍
應(yīng)答性
精度
重復(fù)性 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.）
設(shè)定±2%F.S.至2秒以內(nèi)（標(biāo)準(zhǔn)）
±1.5%F.S.以內(nèi)（±2%F.S.以內(nèi)）
±0.5%F.S.以內(nèi)
壓力 耐壓 980kPa
操作
差壓 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；
溫度 使用溫度 5°C-45°C
連接氣體
部分材料 SUS316、氟橡膠、
氯丁橡膠（選購件）
電力連接 Dsub9個引腳公玡 KFC/SEMI
標(biāo)準(zhǔn)
輸入流量信號 0-5VDC
輸出流量信號 0-5VDC
需求電源供給 +15VDC(±5%)100mA-15VDC(±5%)200mA